设定点精度与满量程精度的区别是什么？

时间:2015-01-13 22:42来源:未知作者:蒸汽流量计点击:次

热式质量流量计流量控制器的精度通常以满量程的百分比来计算，比如2％F.S.，1％F.S. ，1.5％F.S.等。这里满量程用F.S.表示。但是，在一些精度更高的热式质量流量控制器的参数中，我们还会看到另外一个单位： S.P.。比如适用于半导体光伏等

热式质量流量计流量控制器的精度通常以满量程的百分比来计算，比如±2％F.S.，±1％F.S. ，±1.5％F.S.等。这里满量程用F.S.表示。

但是，在一些精度更高的热式质量流量控制器的参数中，我们还会看到另外一个单位：“ S.P.”。比如适用于半导体光伏等要求苛刻的行业的全数字式产品——CS200，其精度范围是：

“±0.35％F.S.(＜35% F.S.)，±1.0% S.P.(≥35% F.S.) ”

“意即：当气体流量小于满量程的35%时，精度是满量程的±0.35％。当气体流量大于等于满量程的35%时，精度是设定点的±1.0％，S.P.是指设定点的流量。”

举例说明：

量程为100SCCM的流量控制器，当设定50SCCM时，其设定点精度为±0.5SCCM，即50×1%=0.5SCCM，满量程精度为100SCCM×1%=1SCCM。

(责任编辑：admin)

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